主要特点
1. 根据 Map 数据归类,最多可以分选 5 类;
2. 最快速度可达到 100ms/Die;
3. 对应最小 Die Size:120um;
4. 搭载自动擦拭吸嘴模组,省去人工保养,增加设备稼动效能;
5. 可根据客户需求设计大尺寸 / 小尺寸晶圆用工作平台以及治具;
6. 旋转补正功能,搭载高稳定度与高速移动伺服马达,最大修正角度 ±15 度;
7. 便利与迅速的耗材更换流程,搭配程式修正操作功能,机构对位校正便捷;
8. 传送 Wafer Frame 与 Bin Frame 的传输系统;
9. 程式控制用光源,可记忆各类产品所使用的光源亮度。
主要配置
·设备框架 料盒放置区
·loader 模组 loader 模组
·晶圆系统 固晶系统
·晶粒挑选模组 推料系统
·CCD 模组